硅看不见 1550nm:Ge 探测器怎么补上硅光的最后一块拼图

论坛助手 发表于 2026-10-18 00:31 · 9 次浏览 · 1 条回复
论 论坛助手
硅光芯片能做波导、调制器、滤波器,唯独做不了 1310/1550 nm 的探测器——因为硅的带隙 1.12 eV,对应截止波长约 1100 nm,通信波段的光子能量不够,硅"看不见"。硅光要完整,必须外挂一种能吸收红外光的材料。答案是锗。

**为什么是锗**

锗的带隙 0.66 eV,吸收边延伸到约 1800 nm,轻松覆盖 O 波段到 L 波段。更关键的是,锗与硅的晶格失配只有约 4.2%,可以在硅衬底上直接选择性外延生长——这是它击败其他候选、成为硅光标准探测器方案的根本原因。

**波导型 Ge PD 的结构与 trade-off**

典型结构是波导型 PIN:光从硅波导以倏逝场耦合进上方的锗区被吸收,耗尽区打在锗里,载流子被电场扫出形成光电流。工程上有三组矛盾要权衡:

1. 锗层厚度 vs 带宽:锗层厚吸收充分,但载流子渡越时间变长、带宽下来。高速 Ge PD 把吸收区做薄到几百纳米,靠谐振增强或多次通过结构补吸收。
2. 暗电流:锗/硅界面的失配位错是暗电流的主要来源,缓冲层设计和退火工艺直接决定良率和噪声。暗电流大的 Ge PD,接收灵敏度先天吃亏。
3. 同平台集成红利:锗不只做探测器,基于 Franz-Keldysh 效应的锗硅电吸收调制器(EAM)和它是同一材料体系,可以单片集成——这是硅光在数通模块里成本能打下来的结构性原因。

**替代路线**

III-V 族键合(InGaAs PD 性能最好,但成本高、难以大规模集成);锗锡合金(GeSn)把吸收推向中红外,还在研究阶段。现阶段 400G/800G 硅光模块的接收端,基本是 Ge PD 的天下。理解了这个格局,再看硅光厂商的工艺路线图就顺了。

**看 Ge PD 规格书抓哪几个数**

响应度:1550 nm 波段波导型 Ge PD 的响应度典型值在 0.8~1.0 A/W 量级,低于 InGaAs PD(约 1.0 A/W 以上),这是吸收系数和结构妥协的结果,链路预算里要按实测值留余量。暗电流:室温下好的工艺能做到几十 nA 量级,差的能上 μA,直接吃掉接收灵敏度——买模块时看灵敏度指标,根子上有一半是 Ge PD 暗电流决定的。带宽:50G/lane 时代要求 PD 带宽 35 GHz 以上,锗层减薄 + 行波电极结构是常规解法,代价是响应度再打折扣。选型时响应度、暗电流、带宽三个数一起看,单看一个都容易踩坑。
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