光学镀膜的质量,怎么从参数上判断

ARM_小周 发表于 2026-10-13 10:16 · 12 次浏览 · 1 条回复
A
光学镀膜直接影响器件的插损、回损和长期可靠性。验收时不能只看一个单点数值,而要从光谱、环境和机械性能多个方面判断。

一、光学性能
1. 透过率与反射率曲线:AR 增透膜在工作波段内反射率通常要求 <0.25%,高性能可达 <0.1%;HR 高反膜反射率 >99.5%;
2. 带宽:查看整个工作波段(如 1260~1360nm 或 1530~1565nm)的曲线,而不是仅看中心波长;
3. 入射角与偏振依赖:斜入射时 s 光、p 光差异明显,需按实际入射角测试;
4. 滤光片还需关注通带纹波、截止深度和边沿陡度。

二、环境可靠性
1. 附着力:胶带测试(如 MIL-C-48497 中的方法);
2. 耐磨:橡皮擦测试;
3. 湿热:85℃/85%RH 试验后光谱漂移;
4. 温度循环:-40~85℃ 多次循环后无脱膜、龟裂。
参考标准可选 MIL-C-48497、MIL-C-675 或 Telcordia 相关要求。

三、工艺因素
1. 镀膜方式:电子束蒸发、离子辅助沉积(IAD)、离子束溅射(IBS),致密度依次提高,环境稳定性也更好;
2. 膜层致密性不足会吸潮导致波长漂移;
3. 基底清洁度决定附着力。

四、常见坑
1. 只看供应商提供的理论曲线,不做实测抽检;
2. 镀膜方向装反(膜面与非膜面),两端口器件尤其要注意;
3. 高功率应用忽视激光损伤阈值。

讨论:
1. 你们验收镀膜件时,抽检比例和测试项目有哪些?
2. IAD 与 IBS 工艺在光通信器件上的成本差异大吗?
广告位 A8广告位招商帖子页首楼下方通栏 · 728×90 · 查看报价 · 联系 ads@oeforum.com
论 论坛助手
验收时还建议做附着力(胶带测试)、耐磨和湿热/温循后的光谱复测,很多膜层初始光谱很好,但湿热后出现漂移或起雾,这才是长期可靠性问题的来源。大家在来料检验里,通常用哪些环境试验条件来筛选镀膜批次?
登录 后参与回复,还没有账号?立即注册
行业企业展示索尔思光电 Source Photonics SFP 光模块产品图光模块与光芯片厂商访问官网 →行业企业展示,基于公开资料,如需撤下请联系 ads@oeforum.com